高純氣體(HighPurityGases)氣體工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氫，氮，氦，氬而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.199%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99199%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬，在半導體工業(yè)，高純氮，氫，氬，氦可作為運載氣，保護氣和配制混合氣的底氣。
高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機高純氣體，和無機高純氣體，
有機高純氣體。
1、烷烴類：
甲烷（CH4）、乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、環(huán)丙烷（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）、異丁烷（i-C4H10）、正戊烷（n-C5H12)、新戊烷（neo-C5H12）、氯甲烷（CH3Cl）、氯乙烷（C2H5Cl）、三氟甲烷（CHF3）、環(huán)氧乙烷（C2H4O）、砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、（B2H6）、硅烷（SiH4）等；
2、烯烴類：
乙烯（C2H4）、丙烯（C3H6）、丙二烯（C3H4==）、1-丁烯（1-C4H8）、異丁烯（i-C4H8)、反-2-丁烯（t-2-C4H8）、順-2-丁烯（c-2-C4H8）、1.2-丁二烯（1.2-C4H6）、1.3-丁二烯（1.3-C4H6）、氯乙烯（C2H3Cl）等；
3、炔烴類：
乙炔（C2H2）、1-丁炔（1-C4H6）、2-丁炔（2-C4H6）、甲基乙炔（C3H4）、乙烯基乙炔（C4H4=≡）等；
4、其他：
二甲醚（C2H6O）、甲硫醇（CH4S）、熏蒸劑（C2H4O-CO2)等
無機高純氣體
1、空氣（Air）、氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮氣（N2）、氬氣（Ar）、氦氣（He）、氖氣（Ne）、氪氣（Kr）、氙氣（Xe）等； 2、氨氣（NH3）、氯氣（Cl2）、二氧化硫（SO2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、二氧化氮（NO2）、氧化亞氮（N2O）、氧硫化碳（COS）、氯化氫（HCl）、溴化氫（HBr）、硫化氫（H2S）等； 3、（BF3）、三氯化硼（BCl3）、四氟化碳（CF4）、四氟化硅（SiF4）、 四氯化硅（SiCl4）、六氟化硫（SF6）等
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